Den grundläggande transistorenheten i ett EPROM-chip skiljer sig från den normala MOS-transistorn. En flytande gate-lavininjektions-MOS-transistor används. Det finns två grindar till denna MOS-transistor och en grind är en flytande grind, vilket innebär att den inte har någon elektrisk anslutning till den grinden.
EPROM skiljer sig från andra typer av programmerbart ROM-minne eftersom när du raderar data tas hela minnet bort. EEPROM är ett annat minneschip med raderbara data. EEPROM-chip kan dock radera datablock istället för endast hela chipet.
EPROM-kretsar kan programmeras och sedan raderas med hjälp av UV-ljus. De har ett transparent kvartsfönster på toppen av paketet. Minnet i en EPROM-enhet raderas genom att applicera UV-ljus på fönstret på toppen av paketet. Vanlig inomhusbelysning innehåller inte tillräckligt med UV-ljus för att påverka det. Utomhusljus kan dock orsaka att minnet raderas. Därför är många chipfönster skyddade och täckta av en etikett.
När chipet utsätts för UV-ljus blir elektronerna i den flytande grinden exciterade. Den höga energin de får gör att de kan övervinna kiseldioxidbarriären och flytta över till kiselsubstratet eller kontrollgrinden. När de gör detta minskar du tröskelvärdet. Detta kan ta upp till 30 minuter, varefter elektronerna flyttar ut från den flytande grinden och den är sedan redo för omprogrammering.